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現場直擊|聚焦日揚科技無錫半導體CSEAC2025展會現場無錫半導體設備年會9月4日,第十三屆半導體設備與核心部件及材料展(CSEAC2025)在無錫太湖國際博覽中心正式開幕。現場聚集了半導體全產業鏈上千家廠商,日揚科技作為半導體核心零部件與材料廠商,攜帶真空閥門、腔體、零配件、真空涂層和尾氣處理設備亮相B1-229展位現場,展臺顧客絡繹不絕,積極探討真空解決方案!展會亮點產品聚焦在APC控壓閥門...
擴散泵抽速計算公式:S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)式中:S-被試泵的抽氣速率(l/s)n-滴管內油柱上升格數(格)t-油柱上升n格所需要的時間(秒)P-在泵口附近測得的壓強(托)K-滴管系數(托·升/秒)K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt其中V0-滴管和真空膠管的原始容積(升)L-滴管刻度部分的長度(mm)n-滴管刻度部分的格數(格)Υ0-油的比重(克/厘米3)Υm-汞的比重(克/厘米3)Pa-當地大氣壓強(托)△Vt-滴管的刻度上的一格的對應的容...
INFICON電容薄膜規的特點:1、以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成2、在嚴酷和腐蝕性環境中,穩定與可靠的高精度壓強測量3、快速的預熱和恢復時間,提高生產率4、的長期穩定性,再現性和重復性5、由于電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性6、對環境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩定7、快速預熱在開機的一分鐘內達到快速穩定和進入準備使用狀態8、一鍵按鈕:調零功能和設點調整9、抗腐蝕超純陶瓷傳感器10、能經受數百萬次壓強循環周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡...
真空系統常用名稱(1)主泵:在真空系統中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。(2)前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。(3)粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。(4)維持泵:在真空系統中,氣量很小時,不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴散泵出口處...
加熱型薄膜規壓力使膜片變形,變形量與壓力大小成比例關系,通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度1、零飄極小0.1%FS/年(干凈真空環境)2、更高的精度3、環境溫度變換/環境壓力變化/環境氣流變化對精度無影響4、比工藝更快的預熱啟動時間’5、快速恢復時間大氣壓6、任意安裝角度7、抗污染,可有效抵抗工藝氣體或工藝產生氣體的腐蝕影響
電容薄膜規要求高的應用條件下,而快速的壓強測量1、用于刻蝕,CVD,PVD,ALD半導體設備制造,如太陽能光伏行業的PECVD用的很多,刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多,抗污染性能比較好。一般國內用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多,如德國Ruth&Rau公司的PECVD設備標配產品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1...
INFICON皮拉尼真空計應用行業1.各種高真空泵的前級壓力測量,如光伏,鍍膜,等離子行業2.各種中低真空測量,如照明,冶金3.真空連鎖控制,高真空計的點火開關控制,如PEG1004.PSG050可*替代TR211,PSG051可*替代TR2165.PCG400PCG410(現在已升級為PCG550,PCG400/PCG410已經停產)與PSG500基本相同,但彌補了皮拉尼規大氣測量段精度不足的弱點,而且不受氣體類型的影響,在真空爐,單晶爐,多晶爐,藍寶石爐上廣泛應用6.PS...
皮拉尼真空計具體型號lPSG050/051lPSG100-SPSG101-SlPSG500/500-SPSG502l皮拉尼電容膜片復合真空計PCG400PCG410PCG5501.有皮拉尼規與特制的陶瓷薄膜規合成在一起2.兩種原理的規管全過程都工作3.100mbar—1000mbar使用薄膜規信號4.1mbar–100mbar兩規信號同時采用5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號6.輸出的真空度信號(電壓)連續,無跳躍
INFICON石英監控器晶體用于真空應用的石英監控器晶體石英晶體是QCM系統中的速率和厚度傳感元件。這些晶體用于所有標準INFICON監控器或控制器以及INFICON(或其他制造商的)單、雙或多晶體傳感器的真空應用。INFICON推出各種晶體和包裝,可隨時為您提供所需的晶體。標準AT切割的1in.(25.4mm)直徑晶體主要用于INFICONRQCM(石英晶體微天平研究系統)和PLO-10i系統的研究應用。這些研究晶體設計用在INFICON牢固且使用方便的晶體支架上,對沉積薄...
INFICON電容薄膜規CDG025D/045D/100D可以*替代美國MKS電容薄膜規622A/626A/627D/628D,例如:622A11TDE,626A11TDE,626B13TDE,626B01TDE,627D01TDC1B
美國MKS流量計INSTRUMENTS成立于1961年,作為半導體零部件的供應商,在氣體、真空儀器及制程控制應用等方面有技術獨到之處,美*機儀器MKSInstruments產品起源于壓力測量和控制核心技術,延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發生器及真空技術,其產品廣泛地應用于各種半導體生產設備和制造過程中。美國MKS產品包括:美國MKS流量計、MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥。代表型號:AX7690,AX3060,AX7610,AX...
致光學鍍膜公司的一封信由于近來社會經濟情況不好,騷擾特別多,我們不想因為推廣而打擾到您,所以在此介紹一下我公司業務,希望沒有打擾到您且能給您帶來方便!針對光學鍍膜公司我們有以下業務:晶振片,我公司只銷售原廠*INFICON產的兩個品牌:INFICON晶振片(貨號SPC-1157-G10,750-1022-G10等)和MAXTEK晶振片(貨號103209,103702等)。膜料,有國產和進口的兩種。進口品牌膜料有富士、MERCK、OPTRON;其中國產的膜料在談好價格后可提供少...
INFICON真空開關專為準確可靠地進行壓力檢測而設計。這些堅固耐用的電子開關可用于各種真空應用,包括壓力互鎖。開關有兩種型號:絕壓開關(參考真空)和壓差開關(參考環境)。益處全不銹鋼防腐蝕設計設計穩健,符合潔凈室標準出廠預設或現場可調設定點,易于安裝功能IP44保護無源觸點繼電器輸出高精度溫度補償傳感器壓力范圍1×10-9毫巴…2巴典型應用適合各種真空應用的大氣壓檢測壓力互鎖(電源、氣源、泵、閥門、驅動裝置等)真空至高真空