靈敏度、反應時間、清除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。

①靈敏度及其校準

　　氦質譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的zui小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于*工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢測出的zui小漏孔漏率。所謂“*工作條件”是指儀器參數調整到*值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“zui小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的zui大波動量。

　　濃度靈敏度校準系統中應用*量計測出通過針閥2進入儀器的空氣流率qL.o，則儀器濃度靈敏度。

      如果檢漏時用輔助系統抽氣（即對示漏氦氣有分流）。或用累積法檢漏時，給出儀器zui小可檢氦濃度（即濃度靈敏度）。記為γmin，能較方便地估計檢漏效果。

②反應時間、清除時間及其測定

　　反應時間是指儀器節流閥*開啟，本底訊號為零（或補償到零）時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到zui大值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時間，記為τR。

　　清除時間是指輸出儀表訊號穩定到zui大值后，停止送氦，其訊號下降到zui大值的e-1倍（即O.37）所需要的時間，記為τC。

③工作真空、極限真空及入口處抽速

　　質譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數。利用檢漏儀的真空規可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。