關于四極質譜（RGA）的Q&A

一、真空腔體里還有殘留氣體，也就是說想分析一下這些氣體的成分或者比例，怎么辦？

    選用四極質譜儀（RGA）。

二、什么是四極質譜、它有什么功能及應用？

     科銳詩汀代理的四極質譜（RGA)是一種用于確定系統中存在的殘余氣體及數量的儀器。用于檢漏、工藝標定和診斷。應用于真空鍍膜、熱處理、半導體、太陽能等行業。

三、真空設備都要配四極質譜（RGA）嗎？

    如果鍍膜工藝要求高，建議配上RGA，比如很多的鍍膜機（光馳、新科隆）標配就有RGA。

四、四極質譜儀（RGA）可以檢漏嗎？

可以。

五、配了四極質譜儀（RGA）還需要配檢漏儀嗎？

很多公司兩款都有配，因為檢漏儀的功能只是檢漏，而且一般都是全套帶泵組的，使用時非常簡單。而四極質譜（RGA）要在一定的真空度上使用，且不止是檢氦氣，它的功能主要是分析真空腔體內的氣體成份，檢漏只是它功能的一種。

六、INFICON產品型號有哪些，各有什么特點，如何選擇？

       Transpector CPM緊湊型過程監控器（帶分子泵組和采樣閥組、可自動控制、大真空度1.2大氣壓）

       Transpector  SPS 殘余氣體分析儀（帶分子泵組和采樣閥組、可自動控制、大真空度1.2大氣壓）

       CPM與SPS比較 SPS是CPM的簡化版本，功能更簡化。
       Transpector  XPR3+ 殘余氣體分析儀（質量數在0-100Amu,大工作氣壓1.3X10^-2mba）

       Transpector  MPH 殘余氣體分析儀（質量數0-100Amu、0-200Amu、0-300Amu;大工作氣壓5X10^-4mba）

       Transpector  MPS 殘余氣體分析儀（質量數0-100Amu、0-200Amu、0-300Amu;大工作氣壓5X10^-4mba）

       MPH與MPS比較，測量間隔小、零爆小、靈敏度高。

       QMG 700 分析質譜儀

A、小于5X10^-4mba  可選擇MPH/MPS。

B、大氣壓          可選擇SPS/CPM。

C、小于1.3X10^-2mba 可選擇XPR3。

關于質量數的選擇：
1、100Amu

   典型應用于非反應性工藝過程，如PVD鍍膜、熱處理、激光、普通氣體分析。檢測H2、He、H2O、N2、Co、O2、Ar、CO2等小分子氣體。

2、200/300 Amu

   典型應用于反應性工藝過程，如ETCH/CVD等，監測殘余氣體及工藝氣體如CCL4，碳氫化合物、SiCL4、SF6、C3F8、WF6和Xe等高分子材料

七、關于參數指標上的解讀？

1、檢測器類型有FC和EM各是什么？
   FC是法拉第杯 EM是增強模塊。

2、小可檢分壓強是什么意思？

   是真空腔里存在氣體小壓強，就像一桿秤，如果小于小壓強，就不能秤出數據來。

3、儀器報警是怎么回事？

   一般是燈絲燒壞了。燈絲是耗材，一般客戶會備用一些。

4、RGA使用方便簡單嗎？容易學嗎？

   科銳詩汀提供詳細的使用說明書，簡單易上手。