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淺析獲得高真空超高真空的關鍵因數在許多實際應用場景，例如真空冶金、空間模擬、分析儀器、高能物理、電子顯微鏡和分子束外延(MBE)等等，都需要高真空(HighVacuum/HV)或者超高真空(UltraHighVacuum/UHV)的環境。本文將1E-3mbar至1E-7mbar之間的壓力范圍定義為高真空（HV），將1E-7mbar至1E-12mbar之間的壓力范圍定義為超高真空（UHV）。以下內容將講述獲得高真空和超高真空的關鍵重點。真空系統的設計和制造高真空和超高真空系統的...

氦檢漏儀如何擺脫水蒸氣影響近日，INFICON（英福康）重磅發布了UL3000Fab和UL6000移動式氦氣檢漏儀，它們集成了三大創新功能：1、第二代智能抑零I-ZERO2.02、本底檢測I-Check3、水汽抑制HYDRO-S其中，HYDRO-S是一項研發的技術，用以擺脫水蒸氣對本底值的影響，實現更快、更精準的檢漏的創新功能！HYDRO-S的英文全稱是HYDROgen-Suppression，中文翻譯為氫抑制。被測試對象在抽空過程中，水蒸氣會形成不必要的本底背景，該軟件可以...

英福康HLD6000Plus的全新功能，了解一下您是負責RAC制冷空調或者是汽車空調管件的泄漏測試工作嗎？您是否還在為酒精、粘合劑、包裝材料或類似物質引起的干擾信號給你的測試工作帶來困擾？那您就來了解一下INFICON集成了ES過濾器的全新HLD6000Plus檢漏儀吧，它能幫助您成功地規避這些干擾信號哦。INFICONHLD6000冷媒吸槍檢漏儀在暖通空調、制冷、汽車工業等諸多市場都有著*的品牌度，也收獲了用戶的廣泛認可。如今，新品HLD6000Plus又從多個領域對原版H...

INFICON電容薄膜規的特點概要一、電容薄膜規的常用型號1、CDG025D、CDG045/100/160/200二、電容薄膜規的特點·以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成·在嚴酷和腐蝕性環境中,穩定與可靠的高精度壓強測量·快速的預熱和恢復時間,提高生產率·良好的長期穩定性,再現性和重復性·由于電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性·對環境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩定·快速預熱,在開機的一分鐘內達到快速穩定和進入準備使用狀態·一鍵按鈕:調零功能和設置點調...

INFICON皮拉尼真空計的特點概要一、兩種類型的皮拉尼規1、穩定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500）2、穩定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規）二、皮拉尼真空計具體型號·PSG050/051·PSG100-SPSG101-S·PSG500/500-SPSG502·皮拉尼電容膜片復合真空計PCG400PCG410PCG5501）有皮拉尼規與特制的陶瓷薄膜規合成在一起2）兩種原理的規管全過程都工作3）100mbar—1000mbar使用薄膜...

英福康殘余氣體分析儀（RGA）在半導體制程中的重要性淺析第一、12英寸晶圓的市場需求趨勢明顯，要持續保證產品的高良率、保障真空環境的潔凈度以及在線同步偵測真空室就顯得非常之重要，這就必須要選擇INFICON的具有高靈敏度的殘余氣體分析儀（RGA）。第二、由于晶圓產品尺寸越做越小，對真空制程室內的潔凈度要求也就越來越高。這其中，對真空要求嚴格的制程為金屬物理沉積，其真空全壓力必須達到1x10-8Torr左右，才能大幅降低背景水氣及氧氣對濺鍍金屬層電阻性的影響。而對于沉積晶粒大小...

PECVD：等離子體增強化學氣相沉積，指借助微波或者射頻波使腔室內的反應氣體分子電離，形成的高化學活性等離子體在基片表面發生化學反應，沉積成膜。PECVD根據等離子發射源的動作情況可分為動態和靜態。根據設備結構可分為鏈式、團簇式和U型。根據射頻頻率的不同可分為RF-PECVD(13.56MHz)和VHF-PECVD（30-300MHz）HJT設備：導質結電池設備PVD：物理氣相沉積（(PhysicalVapourDeposition)，表示在真空條件下，采用物理方法，將材料源...

所有設備真空腔體的真空度檢測主要是用真空規，一般前級真空一個，本底和工藝監控各一個，如果進口的真空計，皮拉尼、熱電離規、電容薄膜規等，中國的真空設備廠家中，使用廣泛的進口真空測量產品是深圳市科銳詩汀代理的瑞士英福康（INFICON）的真空計及控制器。但是困擾使用者的一個問題是英福康（INFICON）的真空計及控制器種類繁多，型號規格貌似沒有規律，很難記憶，今天我們就嘗試著解開這個困擾。真空計從原理上劃分很多種類，還有一些復合真空計，從大類上就可以分十幾種，加上測量寬度和精度的...

關于檢漏，關乎民用和工業用，小到自來水漏水大到我們的宇航艙漏氣，有些地方感覺微乎其微，有些地方且性命攸關。隨著真空環境的應用不斷擴大，越來越多的用戶關于檢漏的問題，如何檢，用什么檢？首先我們要知道漏怎么來數據化，漏率的單位就出來了，漏率是指在已知漏泄處兩側壓差的情況下，單位時間內流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。在分子流狀態下，漏率是壓差的一次方函數；在粘滯流狀態下，漏率是壓力二次方差的函數。在已知容腔傳熱系數的情況下，利用測得的壓力數據進行實際泄漏量的計算可消除由于溫度變化...

雙極旋片真空泵的問與答1、Q：雙極旋片真空泵可以應用到哪些行業？A：深圳市科銳詩汀科技有限公司代理的旋片泵可廣泛應用于太陽能、光學、薄膜、冶煉、鑄造、熱處理、手機、半導體、建材、微電子、平板顯示、Low-E玻璃、裝飾品等行業，在PVD、CVD、MBE、電廠凝氣器、油脂精煉系統、鋰電池干燥系統、直接蒸發系統、化工蒸發、蒸餾、濃縮系統、原料藥三合一干燥系統、食品脫水系統、冶金工業、鋼包脫氣、航天模擬實驗、包裝等行業中體現了明顯優勢。2、Q：我要抽到100Pa（1mbar），可以選...

真空泵的問與答（二）1、Q：真空泵可以應用到哪些行業？A：真空泵廣泛應用于太陽能、光學、薄膜、冶煉、鑄造、熱處理、手機、半導體、建材、微電子、平板顯示、Low-E玻璃、裝飾品等行業、尤其在電廠凝氣器、油脂精煉系統、鋰電池干燥系統、直接蒸發系統、化工蒸發、蒸餾、濃縮系統、原料藥三合一干燥系統、食品脫水系統、冶金工業、鋼包脫氣、航天模擬實驗、包裝等行業中體現了明顯優勢。2、Q：旋片泵有什么特點？A：旋片式真空泵通常有單級和雙極二種，是市場上使用廣泛的真空泵之一。其結構主要有定子，...

INFICON高壓熱電離Pirani真空計HPG400將高壓熱電離技術與Pirani傳感器整合在一個體積小、價格低的規管中，可測量2×10-6mbar至大氣氣壓（1.5×10-6Torr至大氣氣壓）范圍內的壓力。HPG400提供高可重復性和再現性壓力測量，實現精確控制鍍濺過程壓力。好處HPG400可節省成本和工具空間，降低真空系統的安裝與設置的復雜性高壓熱電離可以準確可靠地測量1X10-5至1mbar范圍內的壓力，進而改善過程控制用戶可選的熱電離發射在5X10-2至1mbar...